전자제품

반도체 제조 공정상 가혹한 환경에 노출되는 CVD, ETCH, DIFFUSION 공정 부품,

PEO코팅을 통해 파티클 제어와 부품 수명을 향상시킵니다

적용 아이템

PEO MAO 세라믹코팅 반도체부품 RPS Block

Notebook Case

고성능의 노트북이면서 휴대성을 높이기 위해 유수의 대기업 제조사에서 마그네슘등의 경량화 소재 적용을 확대하고 있습니다. 최근 S사에서 적용된 MAO공법은 

반도체 정전척 히터 세라믹코팅 PEO MAO
반도체 정전척 히터 세라믹코팅 PEO MAO

Tablet cover

히터는 고온의 플라즈마 가스분위기에 노출되며 반복 증착 및 세정 공정으로 점차 부식이 진행되어 파티클 오염원으로 작용됩니다. 내플라즈마성이 우수한 이트리아 및 불화물 계열 소재는 열전도율 및 강도가 낮고, 열팽창 계수가 크기 때문에 반복적인 가열과 냉각에 의해 발생하는 균열 및 크랙 발생으로 이어져 반도체 제조 수율 저하를 야기합니다. PEO코팅은 400도 이상의 고온에서도 높은 내구성과 월등한 내플라즈마, 계면결합력으로 균열 및 크랙 발생을 방지합니다.

반도체 샤워헤드 Shower Head 세라믹코팅 PEO MAO

Electrode

Electrode는 반도체 식각공정 부품으로 Shower Head 라고 불립니다. 샤워 헤드는 핀 홀(Pin Hole)이나 버(bur)등에 의해 내부식성이 나빠지거나 반응 부산물이 쉽게 부착되어 공정 특성이 변하거나 파티클이 발행하게 됩니다. 아노다이징 표면 처리한 샤워 헤드는 고온에서 이루어지는 증착 공정에 알루미늄 모재와 아노다이징 박막의 열 팽창계수 차이에 의해 일정시간이 지나면 아노다이징막이 박리되어 오히려 파티클이 발생과 공정이 틀어지는 문제를 발생 시킵니다. PEO코팅은 모재 내부로 침탄하는 안정된 상의 플라즈마 세라믹 코팅방식입니다. 뛰어난 플라즈마 저항성으로 파티클 발생을 최소화하여 코팅 신뢰성을 확보합니다.

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