디스플레이

6세대 이상의 디스플레이 Dry Etcher, CVD 공정 핵심부품에 적용

PEO코팅을 통해 높은 생산성과 부품수명을 대폭 연장 할 수 있습니다

적용 아이템

E.S.C. for LCD,OLED

E.S.C.(정전척)는 반도체 및 디스플레이 제조장비의 진공챔버 내부에 기판이 놓이는 곳으로, 정전기의 힘을 사용하여 기판을 하부전극에 고정시켜주는 기능을 합니다. 기계 척에서와 같이 입자오염의 원인이 될 수 있는 클램프(Clamp)가 없습니다. Wafer와의 접촉면 전체에 걸친 고른 정전기 힘의 작용에 의해 Wafer를 고착시키므로, Wafer 표면의 Flatness(편평도)가 보장되며, Wafer가 E.S.C. 표면 전체에 긴밀하게 접촉하여 효과적으로 Wafer의 열을 방출시키기 때문에 온도 조절이 용이합니다. PEO코팅은 ESC의 내전압 향상시키고 내열성을 제공하며,  6세대 이상의 대형사이즈와 코팅두께를 개선할 수 있습니다.

Susceptor

Susceptor(서셉터)는 LCD 또는 OLED CVD공정에서 Glass 지지와 Heating 역할을 하는 부품으로 Glass에 최적의 온도를 제어를 통해 실제 사용조건에서 뒤틀림이 없도록 평탄도를 유지시켜줍니다. 공정가스 및 장시간 고온의 가혹한 환경에서 더 오랜 수명을 유지할 수 있도록 PEO 특수 코팅처리하여 내플라즈마성, 내열성과 내식성을 대폭 향상시킴으로 제품 신뢰성과 높은 생산성을 제공합니다.

Diffusor

Diffusor(디퓨저)는 CVD공정 Chamber의 핵심부품으로서 공정가스를 Glass위로 균일하게 확산시키는 역할을 합니다. 높은 온도(350~400℃)의 내열성과 공정가스에 대한 내플라마성, 내구성을 확보하기 위하여 PEO 특수 코팅으로 처리합니다.

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